تحافظ سيارة تدفق طبقي متنقلة على تدفق الهواء العمودي من الفئة أ والضغط الإيجابي أثناء نقل المواد في مناطق الإنتاج العصفية.
مقدمة المنتج
تستخدم سيارة التدفق المتنقلة في المقام الأول لنقل المواد والمعدات في العمليات العظيمة ، وضمان الرصيف العظيم. يتم تسليم المواد أو المعدات إلى منطقة التشغيل من خلال تدفق عمودي أحادي الاتجاه من الفئة أ ، مما يخلق فرق ضغط إيجابي بين الداخل والخارج ، وبالتالي حماية المواد أو المعدات ومنع تلوث الهواء المنخفض المستوى من التأثير على العناصر داخل منطقة التشغيل. السيارة النظيفة مجهزة بإمدادات الطاقة دون انقطاع ويمكن نقلها دون الحاجة إلى كابلات الطاقة.
ميزات المنتج
1. مصنوعة بالكامل من لوحة الفولاذ المقاوم للصدأ 304 ، فهي ممتعة جماليا وسهلة التنظيف
2. مجهزة بمقياس الرياح ، يمكن ضبط سرعة المروحة تلقائيا من خلال مقياس الرياح لضمان سرعة الرياح 3 داخل منطقة العملية. 3. تحيط المعدات بأقسام زجاجية مقلصة ، والتي يمكن أن تمنع تدفق الهواء الملوث الخارجي من الدخول بشكل فعال
4. مجهزة مع UPS عالية السعة مخصصة لتوفير إمدادات الطاقة دون انقطاع ، يمكن للنظام أن يعمل باستمرار لمدة 6 ساعات تقريبا عند شحنها بالكامل
5. مجهزة بعجلات صامتة عالية الجودة ومقبضات الدفع والسحب ، فهي أكثر سهولة ومريحة للتحرك
نعم— وهم’ تفضل بشكل متزايد. لوحات الغرف النظيفة الصيدلانية و سقف الغرف النظيفة الصيدلانية تلبي الأنظمة أو تتجاوز متطلبات أشباه الموصلات للانفجار المنخفض والسلسة السطحية والقدرة على التنظيف. الملفات الشخصية المعتمدة للمركبات العضوية الجوية، والتشطيبات المتوافقة مع ESD، والبناء المغلق تجعلها مثالية لحافظات أدوات EUV وخليجات القياس. فقط تأكد من أن المورد يتحقق من صحة الأداء ضد معايير SEMI. ليس فقط ISO أو USP < 797> .
ASML يحدد محلية ISO فئة 3 (ما يعادل الفئة 100 غرفة نظيفة في شروط Fed-Std-209E القديمة) ظروف مباشرة حول الماسح الضوئي. s عمود بصري ومرحلة الشبكة. مناطق خدمة الأدوات المحيطة عادة تتطلب ISO Class 4. 5 ، في حين أن الخليجات العامة قد تعمل في فئة ISO 7 (فئة 10000 غرفة نظيفة). يتطلب الامتثال الكامل سلاسل ضغط مقسمة، ومراقبة الجسيمات في الوقت الحقيقي، وأوقات الاسترداد المعتمدة أقل من 20 ثانية بعد فتح الباب. تم التحقق من ذلك وفقاً لـ ISO 14644-3.
منطقة العمل تعمل تحت ضغط سلبي بالنسبة لمنطقة الخلفية. النظافة الثابتة تساوي نظافة منطقة الخلفية. إغلاق منفذ العادم لخلق ضغط إيجابي لتحقيق النظافة الثابتة من الفئة أ. كيف يعمل كشك وزن الضغط السلبي؟
تدفق الهواء أحادي الاتجاه يحمي المنتجات من التلوث. يقدم غطاء تدفق طبقي نظيف قياسي تدفق عمودي أو أفقي للعمل على المقعد. يتكامل متغير غطاء تدفق طبقي نظيف مباشرة مع تصاميم المرافق للمحطات الدائمة. للاحتياجات المرنة، تسمح سيارة الغطاء النظيف المتحركة بالتنقل عبر مساحات العمل المختلفة. تضمن هذه الوحدات ظروف ISO Class 5 مباشرة على سطح العمل لمنع استقرار الجسيمات.
تتطلب معالجة المساحيق احتواء لحماية المشغلين. غرفة وزن الضغط السلبي تمنع هروب الغبار عن طريق الحفاظ على ضغط أقل من المناطق المحيطة. تدخل المواد من خلال مربع مرور غرفة نظيفة للحفاظ على سلامة المنطقة. يجب أن تكون معدات الغرف النظيفة العامة متوافقة مع عوامل التنظيف المستخدمة في هذه المناطق. وتضمن بروتوكولات السلامة احتواء المواد الخطرة أثناء عمليات الوزن والتوزيع.
الحماية المحلية تقلل من التكاليف الإجمالية للمنشأة. غرفة نظيفة المعدات النظيفة المحلية تستهدف محطات عمل محددة بفعالية. توفر غطاء تدفق طبقي نظيف تدفق هواء أحادي الاتجاه عبر العمليات المفتوحة. بالنسبة للتنقل ، تسمح سيارة الغطاء المتحرك clean room بتركيب مناطق الهواء النظيف بشكل مرن حيث تتطلب ظروف معقمة مؤقتة للصيانة أو الإعداد.
الأنظمة الموحدة توفر المرونة والسرعة. يمكن تثبيت غرفة نظيفة كشك نظيف داخل المرافق القائمة بسهولة. تدفق الهواء مدفوع بآلية clean room غطاء تدفق طبقي نظيف. فحص الفلتر المنتظم ضروري. استخدام هيكل Clean Booth يسمح بإعادة تكوين خطوط الإنتاج بسرعة دون المساس بمستويات تصنيف نظافة الهواء المطلوبة للتشغيل.